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一种用于平板PECVD设备的带传动装置
一种用于平板PECVD设备的带传动装置
【申请(专利)号： CN201610975332.0 ；申请权利人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所; 发明设计人： 彭宜昌; 刘良玉; 陈国钦; 唐电; 】
摘要：
本发明公开了一种用于平板PECVD设备的带传动装置，包括传动张紧单元，所述传动张紧单元包括传动轴、同步带轮、磁流体密封组件、张紧轮及用于输送石墨载板的输送组件，所述传动轴穿过平板PECVD设备腔体的侧壁，所述磁流体密封组件装设于所述侧壁的外侧面，
所述同步带轮装设于所述传动轴上且位于所述磁流体密封组件外侧，所述输送组件装设于所述传动轴上且位于所述侧壁内侧，所述张紧轮的轮轴与所述传动轴平行布置并通过一连接板与所述磁流体密封组件固定连接。本发明具有结构简单、安装方便、互换性高、密封性
好等优点。
1.一种用于平板PECVD设备的带传动装置，包括传动张紧单元（400），其特征在于：所述传动张紧单元（400）包括传动轴（1）、同步带轮（2）、磁流体密封组件（3）、张紧轮（5）及用于输送石墨载板（200）的输送组件（4），所述传动轴（1）穿过平板PECVD设备腔
体（300）的侧壁（301），所述磁流体密封组件（3）装设于所述侧壁（301）的外侧面，所述同步带轮（2）装设于所述传动轴（1）上且位于所述磁流体密封组件（3）外侧，所述输送组件（4）装设于所述传动轴（1）上且位于所述侧壁（301）内侧，所述张紧轮（5）的
轮轴（51）与所述传动轴（1）平行布置并通过一连接板（6）与所述磁流体密封组件（3）固定连接。
2.根据权利要求1所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述磁流体密封组件（3）包括筒状件（31），所述筒状件（31）套设于所述传动轴（1）上且一端与所述侧壁（301）固定连接，所述连接板（6）一端与所述张紧轮（5）的轮轴（51）连接，连接板
（6）另一端套设于所述传动轴（1）上并通过紧固件与所述筒状件（31）另一端固定连接，所述同步带轮（2）位于所述连接板（6）外侧。
3.根据权利要求2所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述筒状件（31）另一端端面设有多个第一连接孔（311），多个第一连接孔（311）沿圆周方向均匀布置，所述连接板（6）另一端设有至少一个与所述第一连接孔（311）配合的第二连接孔（61）
，所述连接板（6）通过设于所述第二连接孔（61）内的紧固件与所述筒状件（31）固定连接。
4.根据权利要求2所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述筒状件（31）上装设有水冷接头（32）。
5.据权利要求2所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述筒状件（31）与所述侧壁（301）之间设有同心布置的氟橡胶密封圈（33）和金属密封圈（34）。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述张紧轮（5）与所述轮轴（51）之间采用间隙配合，所述同步带轮（2）设有两个以上。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述张紧轮（5）和所述同步带轮（2）的轴向截面均为工字型。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述输送组件（4）包括套设于所述传动轴（1）上的套筒（41）及安装于套筒（41）上的辊轮（42），所述传动轴（1）、所述套筒（41）和所述辊轮（42）同步转动，所述石墨载板
（200）支撑于所述辊轮（42）上。
9.根据权利要求8所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述传动轴（1）上设有相贯通的径向凹槽（11）和轴向凹槽（12），所述套筒（41）上设有用于限制套筒（41）运动的第一止动螺钉（13）和第二止动螺钉（14），所述第一止动螺钉（13）与所述
径向凹槽（11）对应，所述第二止动螺钉（14）与所述轴向凹槽（12）对应。
10.根据权利要求8所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述传动张紧单元（400）设有两个并对称布置于平板PECVD设备腔体（300）的两侧，其中一个传动张紧单元（400）的辊轮（42）轴向截面为工字型，另一个传动张紧单元（400）的辊轮（42）轴
向截面为T字型。
一种用于平板PECVD设备的带传动装置
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产设备，尤其涉及一种用于平板PECVD设备的带传动装置。
背景技术
传统的太阳能电池生产线平板PECVD（等离子体增强化学气相沉积法）设备，在生产过程中，石墨载板200通过传动装置驱动以完成不同的工艺过程。平板式PECVD的工艺过程需要满足低压高温的工艺条件，而且不同腔室对石墨载板200的传输速度要求也不一样，各腔室之
间通常需要多组传动装置同步运动。
常见的平板PECVD设备的张紧装置100如附图1所示，包括安装支架101、垫块102、支撑板103、压缩弹簧104、调整块105及张紧惰轮106，安装支架101安装于设备的腔体300的侧壁301上，垫块102设于支撑板103与安装支架101之间，张紧惰轮106安装于调整块105上，利用支
撑板103上的压缩弹簧104压紧力提供张紧惰轮106所需的张紧力，结构比较复杂，且体积较大，在腔体300的侧壁301上安装有多组传动装置的情况下，安装支架101的安装非常不方便，且腔体300左右两侧壁301的张紧装置100需对称安装，使得两侧的张紧装置100互换性不
高，增加了维护工作量和维护成本。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、安装方便、互换性高、密封性好的用于平板PECVD设备的带传动装置。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种用于平板PECVD设备的带传动装置，包括传动张紧单元，所述传动张紧单元包括传动轴、同步带轮、磁流体密封组件、张紧轮及用于输送石墨载板的输送组件，所述传动轴穿过平板PECVD设备腔体的侧壁，所述磁流体密封组件装设于所述侧壁的外侧面，所述同步带轮
装设于所述传动轴上且位于所述磁流体密封组件外侧，所述输送组件装设于所述传动轴上且位于所述侧壁内侧，所述张紧轮的轮轴与所述传动轴平行布置并通过一连接板与所述磁流体密封组件固定连接。
作为上述技术方案的进一步改进：
所述磁流体密封组件包括筒状件，所述筒状件套设于所述传动轴上且一端与所述侧壁固定连接，所述连接板一端与所述张紧轮的轮轴连接，连接板另一端套设于所述传动轴上并通过紧固件与所述筒状件另一端固定连接，所述同步带轮位于所述连接板外侧。
所述筒状件另一端端面设有多个第一连接孔，多个第一连接孔沿圆周方向均匀布置，所述连接板另一端设有至少一个与所述第一连接孔配合的第二连接孔，所述连接板通过设于所述第二连接孔内的紧固件与所述筒状件固定连接。
所述筒状件上装设有水冷接头。
所述筒状件与所述侧壁之间设有同心布置的氟橡胶密封圈和金属密封圈。
所述张紧轮与所述轮轴之间采用间隙配合，所述同步带轮设有两个以上。
所述张紧轮和所述同步带轮的轴向截面均为工字型。
所述输送组件包括套设于所述传动轴上的套筒及安装于套筒上的辊轮，所述传动轴、所述套筒和所述辊轮同步转动，所述石墨载板支撑于所述辊轮上。
所述传动轴上设有相贯通的径向凹槽和轴向凹槽，所述套筒上设有用于限制套筒运动的第一止动螺钉和第二止动螺钉，所述第一止动螺钉与所述径向凹槽对应，所述第二止动螺钉与所述轴向凹槽对应。
所述传动张紧单元设有两个并对称布置于平板PECVD设备腔体的两侧，其中一个传动张紧单元的辊轮轴向截面为工字型，另一个传动张紧单元的辊轮轴向截面为T字型。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的用于平板PECVD设备的带传动装置其传动轴穿过腔体的侧壁，传动轴与腔体的侧壁之间采用磁流体密封组件密封，密封性好，保证腔体内部具有良好的工艺环境，传动轴位于腔体内侧的部分安装输送组件用于输送石墨载
板，位于腔体外侧的部分则安装同步带轮，张紧轮通过连接板与磁流体密封组件连接，大大减少了安装空间，克服了平板PECVD设备腔体同一侧壁上多组传动装置安装困难的问题，通过调整连接板在磁流体密封组件上的安装位置，即可微调张紧轮提供的张紧力，满足不同
的工况要求，且对称的连接板、张紧轮等部件均可实现互换，降低了维护成本。
附图说明
图1是现有的张紧装置的立体结构示意图。
图2是本发明用于平板PECVD设备的带传动装置使用状态时的结构示意图。
图3是本发明中的传动张紧单元的结构示意图。
图4是本发明中的张紧轮的安装结构示意图。
图5是本发明中的传动轴的立体结构示意图。
图6是本发明中的连接板的立体结构示意图。
图7是图3中A处的放大图。
图中各标号表示：
100、张紧装置；101、安装支架；102、垫块；103、支撑板；104、压缩弹簧；105、调整块；106、张紧惰轮；200、石墨载板；300、腔体；301、侧壁；400、传动张紧单元；1、传动轴；11、径向凹槽；12、轴向凹槽；13、第一止动螺钉；14、第二止动螺钉；2、同步带
轮；3、磁流体密封组件；31、筒状件；311、第一连接孔；32、水冷接头；33、氟橡胶密封圈；34、金属密封圈；4、输送组件；41、套筒；42、辊轮；5、张紧轮；51、轮轴；6、连接板；61、第二连接孔；7、平键；8、卡簧。
具体实施方式
以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
如图1至图7所示，本实施例的用于平板PECVD设备的带传动装置，包括传动张紧单元400，传动张紧单元400包括传动轴1、同步带轮2、磁流体密封组件3、张紧轮5及用于输送石墨载板200的输送组件4，传动轴1穿过腔体300的侧壁301，磁流体密封组件3装设于侧壁301的外
侧面，同步带轮2装设于传动轴1上且位于磁流体密封组件3外侧，输送组件4装设于传动轴1上且位于侧壁301内侧，张紧轮5的轮轴51与传动轴1平行布置并通过一连接板6与磁流体密封组件3固定连接。该用于平板PECVD设备的带传动装置其传动轴1穿过腔体300的侧壁301，
传动轴1与腔体300的侧壁301之间采用磁流体密封组件3密封，密封性好，保证腔体300内部具有良好的工艺环境，传动轴1位于腔体300内侧的部分安装输送组件4用于输送石墨载板200，位于腔体300外侧的部分则安装同步带轮2，张紧轮5通过连接板6与磁流体密封组件3连
接，大大减少了安装空间，克服了平板PECVD设备腔体300同一侧壁301上多组传动装置安装困难的问题，通过调整连接板6在磁流体密封组件3上的安装位置，即可微调张紧轮5提供的张紧力，满足不同的工况要求，且对称的连接板6、张紧轮5等部件均可实现互换，降低了
维护成本。
本实施例中，磁流体密封组件3包括筒状件31，筒状件31套设于传动轴1上且一端与侧壁301通过钩形螺钉固定连接，张紧轮5的轮轴51一端通过六角螺母固定于连接板6一端，另一端装设锁紧螺母防止张紧轮5自轮轴51脱出，连接板6另一端套设于传动轴1上并通过圆柱头螺
钉与筒状件31另一端固定连接，同步带轮2位于连接板6外侧。
筒状件31另一端端面设有多个第一连接孔311，多个第一连接孔311沿圆周方向均匀布置，连接板6另一端设有至少一个与第一连接孔311配合的第二连接孔61，连接板6通过设于第二连接孔61内的紧固件与筒状件31固定连接。本实施例中，筒状件31另一端端面设有十二个第
一连接孔311，连接板6另一端设有四个第二连接孔61，需要调整张紧轮5的张紧力时，使连接板6相对筒状件31转动目标角度，然后再紧固各圆柱头螺钉即可，结构简单、可靠，调节方便。
本实施例中，筒状件31上装设有水冷接头32，通过水冷接头32接入冷却水可对磁流体密封组件3内部进行主动冷却以保证内部温度稳定。
筒状件31与侧壁301之间设有同心布置的氟橡胶密封圈33和金属密封圈34，氟橡胶密封圈33用于保证磁流体密封组件3与腔体300的侧壁301之间的密封性，金属密封圈34用于隔离工艺过程中腔体300内可能存在的微波辐射。本实施例中，金属密封圈34位于氟橡胶密封圈33外
周。
张紧轮5与轮轴51之间采用间隙配合，张紧轮5既能够自由转动，又可以沿着轮轴51滑动，张紧轮5采用聚四氟乙烯材质，张紧轮5与轮轴51之间为软接触，其磨损可以忽略，本实施例中，同步带轮2设有两个，通过调整张紧轮5在轮轴51上的不同位置，可使张紧轮5与不同的
同步带轮2配合，满足多组传动装置的传动要求，且占用空间较少。
本实施例中，张紧轮5和同步带轮2的轴向截面均为工字型，即张紧轮5和同步带轮2两侧均高出中部，使用过程中可防止同步带（图中未示出）脱出。
本实施例中，输送组件4包括套设于传动轴1上的套筒41及通过螺钉安装于套筒41上的辊轮42，传动轴1、套筒41和辊轮42同步转动，其中同步带轮2与传动轴1之间采用平键7传动，同步带轮2通过卡簧8安装于传动轴1上，石墨载板200支撑于辊轮42上。
本实施例中，传动轴1上设有相贯通的径向凹槽11和轴向凹槽12，套筒41上设有用于限制套筒41运动的第一止动螺钉13和第二止动螺钉14，第一止动螺钉13与径向凹槽11对应，用于限制套筒41的轴向位移，第二止动螺钉14与轴向凹槽12对应，用于限制套筒41的相对转动，
使得套筒41与传动轴1保持同步转动。
本实施例中，传动张紧单元400设有两个并对称布置于平板PECVD设备腔体300的两侧，具体如附图2所示，其中左侧传动张紧单元400的辊轮42轴向截面为工字型，右侧传动张紧单元400的辊轮42轴向截面为T字型，两个辊轮42采用特定的截面形状可有效避免石墨载板200传
输过程中发生偏离。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本
发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。
【申请(专利)号： CN201610975332.0 ；申请权利人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所; 发明设计人： 彭宜昌; 刘良玉; 陈国钦; 唐电; 】
摘要：
本发明公开了一种用于平板PECVD设备的带传动装置，包括传动张紧单元，所述传动张紧单元包括传动轴、同步带轮、磁流体密封组件、张紧轮及用于输送石墨载板的输送组件，所述传动轴穿过平板PECVD设备腔体的侧壁，所述磁流体密封组件装设于所述侧壁的外侧面，
所述同步带轮装设于所述传动轴上且位于所述磁流体密封组件外侧，所述输送组件装设于所述传动轴上且位于所述侧壁内侧，所述张紧轮的轮轴与所述传动轴平行布置并通过一连接板与所述磁流体密封组件固定连接。本发明具有结构简单、安装方便、互换性高、密封性
好等优点。
1.一种用于平板PECVD设备的带传动装置，包括传动张紧单元（400），其特征在于：所述传动张紧单元（400）包括传动轴（1）、同步带轮（2）、磁流体密封组件（3）、张紧轮（5）及用于输送石墨载板（200）的输送组件（4），所述传动轴（1）穿过平板PECVD设备腔
体（300）的侧壁（301），所述磁流体密封组件（3）装设于所述侧壁（301）的外侧面，所述同步带轮（2）装设于所述传动轴（1）上且位于所述磁流体密封组件（3）外侧，所述输送组件（4）装设于所述传动轴（1）上且位于所述侧壁（301）内侧，所述张紧轮（5）的
轮轴（51）与所述传动轴（1）平行布置并通过一连接板（6）与所述磁流体密封组件（3）固定连接。
2.根据权利要求1所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述磁流体密封组件（3）包括筒状件（31），所述筒状件（31）套设于所述传动轴（1）上且一端与所述侧壁（301）固定连接，所述连接板（6）一端与所述张紧轮（5）的轮轴（51）连接，连接板
（6）另一端套设于所述传动轴（1）上并通过紧固件与所述筒状件（31）另一端固定连接，所述同步带轮（2）位于所述连接板（6）外侧。
3.根据权利要求2所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述筒状件（31）另一端端面设有多个第一连接孔（311），多个第一连接孔（311）沿圆周方向均匀布置，所述连接板（6）另一端设有至少一个与所述第一连接孔（311）配合的第二连接孔（61）
，所述连接板（6）通过设于所述第二连接孔（61）内的紧固件与所述筒状件（31）固定连接。
4.根据权利要求2所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述筒状件（31）上装设有水冷接头（32）。
5.据权利要求2所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述筒状件（31）与所述侧壁（301）之间设有同心布置的氟橡胶密封圈（33）和金属密封圈（34）。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述张紧轮（5）与所述轮轴（51）之间采用间隙配合，所述同步带轮（2）设有两个以上。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述张紧轮（5）和所述同步带轮（2）的轴向截面均为工字型。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述输送组件（4）包括套设于所述传动轴（1）上的套筒（41）及安装于套筒（41）上的辊轮（42），所述传动轴（1）、所述套筒（41）和所述辊轮（42）同步转动，所述石墨载板
（200）支撑于所述辊轮（42）上。
9.根据权利要求8所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述传动轴（1）上设有相贯通的径向凹槽（11）和轴向凹槽（12），所述套筒（41）上设有用于限制套筒（41）运动的第一止动螺钉（13）和第二止动螺钉（14），所述第一止动螺钉（13）与所述
径向凹槽（11）对应，所述第二止动螺钉（14）与所述轴向凹槽（12）对应。
10.根据权利要求8所述的用于平板PECVD设备的带传动装置，其特征在于：所述传动张紧单元（400）设有两个并对称布置于平板PECVD设备腔体（300）的两侧，其中一个传动张紧单元（400）的辊轮（42）轴向截面为工字型，另一个传动张紧单元（400）的辊轮（42）轴
向截面为T字型。
一种用于平板PECVD设备的带传动装置
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产设备，尤其涉及一种用于平板PECVD设备的带传动装置。
背景技术
传统的太阳能电池生产线平板PECVD（等离子体增强化学气相沉积法）设备，在生产过程中，石墨载板200通过传动装置驱动以完成不同的工艺过程。平板式PECVD的工艺过程需要满足低压高温的工艺条件，而且不同腔室对石墨载板200的传输速度要求也不一样，各腔室之
间通常需要多组传动装置同步运动。
常见的平板PECVD设备的张紧装置100如附图1所示，包括安装支架101、垫块102、支撑板103、压缩弹簧104、调整块105及张紧惰轮106，安装支架101安装于设备的腔体300的侧壁301上，垫块102设于支撑板103与安装支架101之间，张紧惰轮106安装于调整块105上，利用支
撑板103上的压缩弹簧104压紧力提供张紧惰轮106所需的张紧力，结构比较复杂，且体积较大，在腔体300的侧壁301上安装有多组传动装置的情况下，安装支架101的安装非常不方便，且腔体300左右两侧壁301的张紧装置100需对称安装，使得两侧的张紧装置100互换性不
高，增加了维护工作量和维护成本。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、安装方便、互换性高、密封性好的用于平板PECVD设备的带传动装置。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种用于平板PECVD设备的带传动装置，包括传动张紧单元，所述传动张紧单元包括传动轴、同步带轮、磁流体密封组件、张紧轮及用于输送石墨载板的输送组件，所述传动轴穿过平板PECVD设备腔体的侧壁，所述磁流体密封组件装设于所述侧壁的外侧面，所述同步带轮
装设于所述传动轴上且位于所述磁流体密封组件外侧，所述输送组件装设于所述传动轴上且位于所述侧壁内侧，所述张紧轮的轮轴与所述传动轴平行布置并通过一连接板与所述磁流体密封组件固定连接。
作为上述技术方案的进一步改进：
所述磁流体密封组件包括筒状件，所述筒状件套设于所述传动轴上且一端与所述侧壁固定连接，所述连接板一端与所述张紧轮的轮轴连接，连接板另一端套设于所述传动轴上并通过紧固件与所述筒状件另一端固定连接，所述同步带轮位于所述连接板外侧。
所述筒状件另一端端面设有多个第一连接孔，多个第一连接孔沿圆周方向均匀布置，所述连接板另一端设有至少一个与所述第一连接孔配合的第二连接孔，所述连接板通过设于所述第二连接孔内的紧固件与所述筒状件固定连接。
所述筒状件上装设有水冷接头。
所述筒状件与所述侧壁之间设有同心布置的氟橡胶密封圈和金属密封圈。
所述张紧轮与所述轮轴之间采用间隙配合，所述同步带轮设有两个以上。
所述张紧轮和所述同步带轮的轴向截面均为工字型。
所述输送组件包括套设于所述传动轴上的套筒及安装于套筒上的辊轮，所述传动轴、所述套筒和所述辊轮同步转动，所述石墨载板支撑于所述辊轮上。
所述传动轴上设有相贯通的径向凹槽和轴向凹槽，所述套筒上设有用于限制套筒运动的第一止动螺钉和第二止动螺钉，所述第一止动螺钉与所述径向凹槽对应，所述第二止动螺钉与所述轴向凹槽对应。
所述传动张紧单元设有两个并对称布置于平板PECVD设备腔体的两侧，其中一个传动张紧单元的辊轮轴向截面为工字型，另一个传动张紧单元的辊轮轴向截面为T字型。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的用于平板PECVD设备的带传动装置其传动轴穿过腔体的侧壁，传动轴与腔体的侧壁之间采用磁流体密封组件密封，密封性好，保证腔体内部具有良好的工艺环境，传动轴位于腔体内侧的部分安装输送组件用于输送石墨载
板，位于腔体外侧的部分则安装同步带轮，张紧轮通过连接板与磁流体密封组件连接，大大减少了安装空间，克服了平板PECVD设备腔体同一侧壁上多组传动装置安装困难的问题，通过调整连接板在磁流体密封组件上的安装位置，即可微调张紧轮提供的张紧力，满足不同
的工况要求，且对称的连接板、张紧轮等部件均可实现互换，降低了维护成本。
附图说明
图1是现有的张紧装置的立体结构示意图。
图2是本发明用于平板PECVD设备的带传动装置使用状态时的结构示意图。
图3是本发明中的传动张紧单元的结构示意图。
图4是本发明中的张紧轮的安装结构示意图。
图5是本发明中的传动轴的立体结构示意图。
图6是本发明中的连接板的立体结构示意图。
图7是图3中A处的放大图。
图中各标号表示：
100、张紧装置；101、安装支架；102、垫块；103、支撑板；104、压缩弹簧；105、调整块；106、张紧惰轮；200、石墨载板；300、腔体；301、侧壁；400、传动张紧单元；1、传动轴；11、径向凹槽；12、轴向凹槽；13、第一止动螺钉；14、第二止动螺钉；2、同步带
轮；3、磁流体密封组件；31、筒状件；311、第一连接孔；32、水冷接头；33、氟橡胶密封圈；34、金属密封圈；4、输送组件；41、套筒；42、辊轮；5、张紧轮；51、轮轴；6、连接板；61、第二连接孔；7、平键；8、卡簧。
具体实施方式
以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
如图1至图7所示，本实施例的用于平板PECVD设备的带传动装置，包括传动张紧单元400，传动张紧单元400包括传动轴1、同步带轮2、磁流体密封组件3、张紧轮5及用于输送石墨载板200的输送组件4，传动轴1穿过腔体300的侧壁301，磁流体密封组件3装设于侧壁301的外
侧面，同步带轮2装设于传动轴1上且位于磁流体密封组件3外侧，输送组件4装设于传动轴1上且位于侧壁301内侧，张紧轮5的轮轴51与传动轴1平行布置并通过一连接板6与磁流体密封组件3固定连接。该用于平板PECVD设备的带传动装置其传动轴1穿过腔体300的侧壁301，
传动轴1与腔体300的侧壁301之间采用磁流体密封组件3密封，密封性好，保证腔体300内部具有良好的工艺环境，传动轴1位于腔体300内侧的部分安装输送组件4用于输送石墨载板200，位于腔体300外侧的部分则安装同步带轮2，张紧轮5通过连接板6与磁流体密封组件3连
接，大大减少了安装空间，克服了平板PECVD设备腔体300同一侧壁301上多组传动装置安装困难的问题，通过调整连接板6在磁流体密封组件3上的安装位置，即可微调张紧轮5提供的张紧力，满足不同的工况要求，且对称的连接板6、张紧轮5等部件均可实现互换，降低了
维护成本。
本实施例中，磁流体密封组件3包括筒状件31，筒状件31套设于传动轴1上且一端与侧壁301通过钩形螺钉固定连接，张紧轮5的轮轴51一端通过六角螺母固定于连接板6一端，另一端装设锁紧螺母防止张紧轮5自轮轴51脱出，连接板6另一端套设于传动轴1上并通过圆柱头螺
钉与筒状件31另一端固定连接，同步带轮2位于连接板6外侧。
筒状件31另一端端面设有多个第一连接孔311，多个第一连接孔311沿圆周方向均匀布置，连接板6另一端设有至少一个与第一连接孔311配合的第二连接孔61，连接板6通过设于第二连接孔61内的紧固件与筒状件31固定连接。本实施例中，筒状件31另一端端面设有十二个第
一连接孔311，连接板6另一端设有四个第二连接孔61，需要调整张紧轮5的张紧力时，使连接板6相对筒状件31转动目标角度，然后再紧固各圆柱头螺钉即可，结构简单、可靠，调节方便。
本实施例中，筒状件31上装设有水冷接头32，通过水冷接头32接入冷却水可对磁流体密封组件3内部进行主动冷却以保证内部温度稳定。
筒状件31与侧壁301之间设有同心布置的氟橡胶密封圈33和金属密封圈34，氟橡胶密封圈33用于保证磁流体密封组件3与腔体300的侧壁301之间的密封性，金属密封圈34用于隔离工艺过程中腔体300内可能存在的微波辐射。本实施例中，金属密封圈34位于氟橡胶密封圈33外
周。
张紧轮5与轮轴51之间采用间隙配合，张紧轮5既能够自由转动，又可以沿着轮轴51滑动，张紧轮5采用聚四氟乙烯材质，张紧轮5与轮轴51之间为软接触，其磨损可以忽略，本实施例中，同步带轮2设有两个，通过调整张紧轮5在轮轴51上的不同位置，可使张紧轮5与不同的
同步带轮2配合，满足多组传动装置的传动要求，且占用空间较少。
本实施例中，张紧轮5和同步带轮2的轴向截面均为工字型，即张紧轮5和同步带轮2两侧均高出中部，使用过程中可防止同步带（图中未示出）脱出。
本实施例中，输送组件4包括套设于传动轴1上的套筒41及通过螺钉安装于套筒41上的辊轮42，传动轴1、套筒41和辊轮42同步转动，其中同步带轮2与传动轴1之间采用平键7传动，同步带轮2通过卡簧8安装于传动轴1上，石墨载板200支撑于辊轮42上。
本实施例中，传动轴1上设有相贯通的径向凹槽11和轴向凹槽12，套筒41上设有用于限制套筒41运动的第一止动螺钉13和第二止动螺钉14，第一止动螺钉13与径向凹槽11对应，用于限制套筒41的轴向位移，第二止动螺钉14与轴向凹槽12对应，用于限制套筒41的相对转动，
使得套筒41与传动轴1保持同步转动。
本实施例中，传动张紧单元400设有两个并对称布置于平板PECVD设备腔体300的两侧，具体如附图2所示，其中左侧传动张紧单元400的辊轮42轴向截面为工字型，右侧传动张紧单元400的辊轮42轴向截面为T字型，两个辊轮42采用特定的截面形状可有效避免石墨载板200传
输过程中发生偏离。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本
发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。
